Ringkasan
Flowmeter massa adalah komponen yang sangat penting dalam peralatan manufaktur semikonduktor. Stabilitas pekerjaannya sering menjadi faktor kunci keberhasilan dan kegagalan proses semikonduktor.
HORIBA STEC, Sebagai produsen flowmeter dengan pangsa pasar global lebih dari 35%*1, kami telah lama secara konsisten menyediakan produk berkualitas tinggi dan serbaguna untuk industri semikonduktor. Sekarang, dengan teknologi baru, HORIBA STEC mempromosikan pengendali aliran massa baru di seluruh dunia: Seri Z500.
Dibandingkan dengan model lama, seri Z500X mencapai terobosan baru dan ditakdirkan untuk mengubah masa depan teknologi kontrol aliran. Konversi gas komposit, aliran komposit dilakukan sambil menyediakan semua fungsi kontrol aliran yang dibutuhkan pelanggan. Pelanggan dapat dengan mudah mengubah jenis dan jarak pengukuran gas flowmeter sesuai dengan kebutuhan proses*2.
Selain itu, melalui inovasi teknologi bahan produk, seri Z500 sepenuhnya memenuhi persyaratan desain RoHS produk hijau untuk meningkatkan nilai produk untuk pelanggan.
Meter aliran seri Z500 berkinerja tinggi akan memberi Anda lebih banyak kejutan. Dunia menyaksikan kelahiran flowmeter massa baru yang akan mengubah seluruh industri semikonduktor.
*1 Referensi pada laporan penelitian VLSI 2007.
*2 Gas komposit, fungsi aliran komposit.
Fitur
Akurasi tinggi: mengatur nilai aliran ± 1,0%.
Akurasi linier MFC dikompensasi oleh kurva pendekatan polynomial, teknologi ini menjamin akurasi kontrol yang tinggi dalam berbagai rentang kontrol. Untuk meningkatkan akurasi kontrol dari berbagai jenis gas nyata, HORIBA STEC mengembangkan sistem pengukuran gas standar dan mengumpulkan data kalibrasi dari berbagai gas proses berdasarkan sejumlah eksperimen.
Respon kecepatan tinggi
SEC-Z500X menggunakan sistem "PID yang dapat diubah" terbaru yang menjamin perubahan antara dua titik aliran pengaturan dilakukan dalam waktu 1 detik. Saat pengaturan aliran yang berbeda, data PID akan disesuaikan secara otomatis, bahkan setelah perubahan jenis gas dan kisaran aliran, data PID dapat dioptimalkan secara otomatis untuk respons kecepatan tinggi.
Sistem aliran gas komposit dan komposit
Produk baru HORIBA STEC memungkinkan pelanggan dengan mudah mengubah jenis gas dan aliran gas di lokasi menjadi kenyataan. Perangkat lunak pengaturan Z500 kami sederhana dan mudah digunakan. Lebih baik lagi, penyelesaian perubahan ini bahkan tidak memerlukan pemotongan MFC dari sistem. Dengan demikian, jumlah cadangan pelanggan dapat dikurangi secara signifikan, sambil menghemat waktu dan biaya.
Gambar produk dan lainnya