Dalam persiapan air ultramurni, penjelasan TOC (total karbon organik) sangat penting, menggunakan teknologi UV-185nm bertekanan rendah energi tinggi, dan menggabungkan UV-254nm UV sterilisator, mampu menghasilkan radikal bebas hidroksi dalam air melalui fotokatalisis UV-185nm dosis tinggi, oksidasi degradasi bahan organik dalam air untuk mengurangi kandungan TOC dalam air